來源：沈陽科儀|2014-04-02|【大 中 小】【打印】【關(guān)閉】
3月21日，國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項“耐腐蝕超潔凈系列渦旋干式真空泵開發(fā)和應(yīng)用”項目啟動暨2014年度工作布置會在中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司召開。遼寧省科技廳條財處、遼寧省國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項項目監(jiān)理及財務(wù)監(jiān)理專家、項目各任務(wù)負(fù)責(zé)人及財務(wù)人員出席會議。會議由項目牽頭單位沈陽科儀副總經(jīng)理張振厚主持。
沈陽科儀作為該項目的牽頭單位，聯(lián)合東北大學(xué)、中科院金屬研究所、中科院上海應(yīng)用物理研究所、北京普析通用儀器有限責(zé)任公司、蘭州空間技術(shù)物理研究所、北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司等共同承擔(dān)。項目通過開展對系列渦旋干泵總體設(shè)計、系列渦旋干泵流場分析及型線優(yōu)化、渦旋干泵材質(zhì)與動密封、渦旋干泵防腐、渦旋干泵內(nèi)部熱場分析及對材料膨脹影響分析與優(yōu)化及渦旋干泵特種電機(jī)等7項關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā)，研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)、符合國家重大科學(xué)儀器應(yīng)用要求、性能指標(biāo)達(dá)到國際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平的耐腐蝕超潔凈系列渦旋干泵產(chǎn)品。項目實施周期為3年，沈陽科儀真空干泵事業(yè)部部長王光玉擔(dān)任項目負(fù)責(zé)人，東北大學(xué)巴德純教授擔(dān)任項目技術(shù)負(fù)責(zé)人。本項目的實施可為我國高端科學(xué)儀器如質(zhì)譜類、光譜類、電鏡類儀器提高質(zhì)量水平，提供潔凈真空環(huán)境，超高真空提供基礎(chǔ)保證。
項目專項啟動會參會人員合影
撰稿人：張慶鍵
