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南京天儀“800mm口徑平面激光干涉儀”通過(guò)驗(yàn)收
來(lái)源：南京天儀|2022-02-11|【大 中 小】【打印】【關(guān)閉】
1月25日，中科院南京天文儀器有限公司承擔(dān)的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃子課題 “800mm平面干涉儀技術(shù)開(kāi)發(fā)”通過(guò)專家組驗(yàn)收。
大口徑平面鏡面形精度直接影響各類光學(xué)系統(tǒng)制造精度。高精度大口徑平面鏡必須依靠平面面形檢測(cè)技術(shù)才能得以研制。因此，大口徑平面鏡和異形孔徑平面鏡檢測(cè)，一直是精密光學(xué)制造與天文技術(shù)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。如何實(shí)現(xiàn)大口徑平面鏡的高效快速高精度檢測(cè)？最直接有效的技術(shù)路徑是研制大口徑平面干涉儀。
我國(guó)大口徑平面干涉儀長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，價(jià)格高昂且受制于外國(guó)。作為國(guó)內(nèi)大口徑光學(xué)測(cè)試設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和生產(chǎn)商，無(wú)論從解決國(guó)家戰(zhàn)略科學(xué)儀器“卡脖子”難題的角度，還是從科研儀器國(guó)產(chǎn)化需求的角度，南京天儀啟動(dòng)研制“800mm口徑平面干涉儀”都責(zé)無(wú)旁貸。為此，南京天儀聯(lián)合南京理工大學(xué)于2018年5月啟動(dòng)項(xiàng)目研發(fā)。
“800mm平面干涉儀”是重大光學(xué)檢測(cè)儀器，由光學(xué)系統(tǒng)、機(jī)械系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。光學(xué)設(shè)計(jì)部分保證干涉儀波面測(cè)試質(zhì)量、頻率傳遞能力；精密機(jī)械部分保證干涉儀標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)元件的高精度面形質(zhì)量、氣浮移動(dòng)和穩(wěn)定可靠的調(diào)整；電路部分保證調(diào)整與信號(hào)采集過(guò)程的自動(dòng)化；計(jì)算機(jī)軟硬件部分保證圖像采集與移相算法的同步通訊、控制及圖像處理、波長(zhǎng)調(diào)諧移相干涉、數(shù)據(jù)處理、波面分析、Zernike多項(xiàng)式等軟件包的集成與結(jié)果輸出。
以李金鵬博士為首的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和南京理工大學(xué)團(tuán)隊(duì)緊密合作，攻克多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，于2021年12月完成項(xiàng)目研發(fā)。該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了大口徑平面鏡的自動(dòng)化測(cè)量，能排除人工判讀或是復(fù)雜實(shí)驗(yàn)步驟對(duì)測(cè)量的干擾，檢測(cè)效率與精度大幅提升。項(xiàng)目擁有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，技術(shù)完全自主可控。南京理工大學(xué)教授朱日宏評(píng)價(jià)道：“這臺(tái)800mm平面干涉儀是當(dāng)前國(guó)內(nèi)國(guó)產(chǎn)化程度最高、口徑最大的平面干涉儀，對(duì)于提高我國(guó)大口徑光學(xué)檢測(cè)能力具有重要意義”。
“800mm口徑平面激光干涉儀”現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收
