來源：南方網(wǎng)|2023-11-20|【大 中 小】【打印】【關(guān)閉】
南方網(wǎng)訊 干式真空泵技術(shù)為我國半導(dǎo)體集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化的貫通奠定了重要基礎(chǔ)；首臺(tái)BNCT設(shè)備在東莞市人民醫(yī)院落地，預(yù)計(jì)于明年底投入使用......11月15日至19日，第二十五屆中國國際高新技術(shù)成果交易會(huì)在深圳舉行，中國科學(xué)院控股有限公司（簡(jiǎn)稱“國科控股”）攜百余項(xiàng)創(chuàng)新產(chǎn)品和科技成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目驚艷亮相。
加速推動(dòng)半導(dǎo)體集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化
“這個(gè)產(chǎn)品能解決我們半導(dǎo)體集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化?！痹?/span>國科控股展區(qū)，一款領(lǐng)先的芯片制造核心零部件“干式真空泵”引起廣泛關(guān)注。
據(jù)了解，該款干式真空泵由中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（簡(jiǎn)稱“沈陽科儀”）研發(fā)，廣泛應(yīng)用于拉晶、光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入等半導(dǎo)體關(guān)鍵制造設(shè)備。沈陽科儀趙崇凌研究員介紹，芯片的制造流程接近20個(gè)，大部分流程都需要用到干式真空泵，它是其中的一個(gè)核心部件，具有潔凈無油、穩(wěn)定可靠、效率高、能耗低、性能穩(wěn)定、運(yùn)行成本低等諸多優(yōu)勢(shì)。目前，沈陽科儀已與國內(nèi)外多個(gè)代表性芯片制造企業(yè)合作，裝機(jī)數(shù)量超過2萬臺(tái)。
趙崇凌研究員介紹創(chuàng)新產(chǎn)品 鄒長(zhǎng)森/攝
“在國際上，我國干式真空泵技術(shù)在前些年還處于‘跟跑’狀態(tài)，現(xiàn)在已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了‘并跑’。干式真空泵技術(shù)打破了歐美及日韓企業(yè)對(duì)同類產(chǎn)品的長(zhǎng)期壟斷地位，保證了國家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心部件供應(yīng)鏈的穩(wěn)定，解決了‘卡脖子’問題，同時(shí)也為全產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化的貫通奠定了重要基礎(chǔ)。”趙崇凌表示，“不僅如此，我們每年還要從銷售收入里面拿出10%投入研發(fā)，持續(xù)推動(dòng)技術(shù)升級(jí)，開展干式真空泵的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，不斷沖破技術(shù)壁壘?！?/span>
體內(nèi)埋“雷”摧毀癌細(xì)胞 首臺(tái)BNCT臨床設(shè)備明年在莞啟用
科技創(chuàng)新的關(guān)鍵一環(huán)是成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用，要聚焦經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng)，致力于為民服務(wù)。在國科控股展區(qū)，我們驚喜地發(fā)現(xiàn)，眾多科研成果已經(jīng)落地開花，進(jìn)入“豐收季”。
“硼中子俘獲治療（BNCT）是一種新興的二元、靶向、細(xì)胞級(jí)的腫瘤治療方法。它的作用原理就是在人體內(nèi)注入硼藥，這種硼藥就好比派出去的‘工兵’，主動(dòng)去癌細(xì)胞周圍埋‘地雷’，這些‘地雷’在BNCT設(shè)備產(chǎn)生的中子照射下，一旦遇到中子即可引發(fā)只有1-2個(gè)細(xì)胞尺度的‘核爆炸’來摧毀癌細(xì)胞，對(duì)其他正常的組織細(xì)胞損傷極小。”國科中子醫(yī)療科技有限公司工作人員介紹，該裝備性能已達(dá)到世界領(lǐng)先水平，填補(bǔ)了高端醫(yī)療器械國產(chǎn)化的多項(xiàng)空白，對(duì)于提升我國腫瘤診療手段和水平具有重大意義。
東莞市人民醫(yī)院硼中子俘獲治療（BNCT）設(shè)備組裝模型 鄒長(zhǎng)森/攝
據(jù)悉，BNCT設(shè)備是由國科控股依托散裂中子源大科學(xué)裝置科研成果，推動(dòng)實(shí)現(xiàn)的產(chǎn)業(yè)化成果。2022年，國科中子在東莞市人民醫(yī)院落地了首臺(tái)BNCT臨床設(shè)備，打造成為重點(diǎn)示范項(xiàng)目。目前，該設(shè)備正在進(jìn)行總裝聯(lián)調(diào)，將在2024年上半年開展臨床試驗(yàn)，并預(yù)計(jì)于明年底投入使用。
國科控股展區(qū)還展示了國內(nèi)首臺(tái)高分辨率場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，重大會(huì)議上使用的電子票箱、表決器和報(bào)到機(jī)等創(chuàng)新技術(shù)產(chǎn)品及最新產(chǎn)業(yè)化成果。
國科控股黨委常委、副總經(jīng)理劉榮光表示，“當(dāng)前，新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革加速演進(jìn)，科技創(chuàng)新和自主可控將成為未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展的大趨勢(shì)。國科控股作為中國科學(xué)院經(jīng)營(yíng)性國有資產(chǎn)的管理和運(yùn)營(yíng)平臺(tái)，將圍繞中國科學(xué)院各科研院所的重大科技成果轉(zhuǎn)化，聚焦科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)鏈條，搭建助力科技成果轉(zhuǎn)化及其產(chǎn)業(yè)化的生態(tài)系統(tǒng)，培育戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，為科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展作出獨(dú)特的、應(yīng)有的貢獻(xiàn)。”
（作者|鄒長(zhǎng)森，本文轉(zhuǎn)載自南方網(wǎng)，2023-11-16）
