來源：北京科儀|2025-04-30|【大 中 小】【打印】【關(guān)閉】
4月27日，中國科學(xué)院工會委員會在京舉辦慶?！拔逡弧眹H勞動節(jié)暨中國科學(xué)院第六屆科苑名匠發(fā)布活動?；顒由瞎剂双@得中國科學(xué)院第六屆“科苑名匠”稱號的名單。北京中科科儀股份有限公司重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊獲此殊榮。
北京科儀重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊，深耕真空技術(shù)領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新突破，聚力攻關(guān)重大裝備核心零部件高效產(chǎn)業(yè)化，形成的分子泵系列產(chǎn)品在集成電路、光伏新能源、航空航天、科學(xué)分析儀器等行業(yè)廣泛應(yīng)用，為推動國家產(chǎn)業(yè)升級、提升國家科技實力水平做出重要貢獻(xiàn)。團(tuán)隊逐步建立流程制度標(biāo)準(zhǔn)化、設(shè)備配套高效化、制造團(tuán)隊專業(yè)化的生產(chǎn)體系，致力于研制滿足國家重大戰(zhàn)略需求、具有市場競爭力的關(guān)鍵產(chǎn)品，解決國家關(guān)鍵核心技術(shù)“卡脖子”問題。
該團(tuán)隊實現(xiàn)了磁懸浮分子泵在光伏、鋰電等新能源行業(yè)大批量應(yīng)用，推進(jìn)半導(dǎo)體專用磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化落地，快速滿足第三代半導(dǎo)體碳化硅行業(yè)設(shè)備對專用分子泵的需求，并實現(xiàn)在刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導(dǎo)體前道工藝關(guān)鍵裝備上的應(yīng)用，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備核心部件國產(chǎn)化發(fā)展作出貢獻(xiàn)。
歷經(jīng)六十余年的傳承與積累，北京科儀重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊深刻領(lǐng)悟老一輩科學(xué)家胸懷祖國、無私奉獻(xiàn)的精神，堅持精益求精、追求卓越的工匠精神，專注科技成果轉(zhuǎn)化，守初心，擔(dān)使命，為高端裝備精密智造注入新動能。
